Новости Kuai Technology от 24 декабря, недавно,Голландский литографический гигант ASML объявил, что отдаст приоритет поставке своей новой машины для литографии в экстремальном ультрафиолете с высокой числовой апертурой (High NA EUV) для компании Intel.
Сообщается, что,Каждая новая машина стоит более 300 миллионов долларов.которая помогает производителям компьютерных чипов производить меньшие по размеру и более быстрые полупроводники.
Официальный аккаунт ASML в социальной сети опубликовал фотографию места происшествия. Как вы можете видеть на картинке,Часть литографической машины помещена в защитный короб. Коробка, перевязанная красной лентой, готова к отправке из штаб-квартиры компании в Эйндховене, Нидерланды.
“Десятилетие новаторской науки и системной инженерии заслуживает уважения! Мы рады и гордимся тем, что поставляем Intel нашу первую машину для EUV-литографии с высокой числовой апертурой.“, – заявили в ASML.
Понятно, что машина для литографии в крайнем ультрафиолете с высокой числовой апертурой в собранном виде больше грузовика, и ее необходимо транспортировать в 250 отдельных ящиках, включая 13 больших контейнеров.
Предполагается, что эта литографическая машина будет использоваться для коммерческого производства чипов, начиная с 2026 или 2027 года.
Публичная информация показывает, чтоЧисловая апертура числовой апертуры является важным показателем оптической системы литографической машины, который напрямую определяет фактическое разрешение литографии и максимально достижимый технологический узел.
Вообще говоря, после того, как расстояние между металлами уменьшено до менее 30 нм, то есть соответствующий технологический узел превышает 5 нм, разрешения литографической машины с низкой числовой апертурой недостаточно, и технология двойной экспозиции EUV или технологии формирования рисунка может использоваться только для помогать. .
Это не только значительно увеличит стоимость, но и снизит доходность. Следовательно, становится необходимой более высокая числовая апертура.
В сентябре компания ASML объявила, что к концу этого года она поставит свою первую машину для литографии EUV с высокой числовой апертурой, модель Twinscan EXE:5000, которая сможет производить 2-нм техпроцесс и даже более совершенные чипы.
2023-12-24 08:05:11
1703454768
#Первая #2нм #литографическая #машина #ASML #официально #доставлена #Intel #собранном #виде #она #больше #грузовика