1765426473
2025-12-11 04:00:00
Токио – Корпорация Nikon объявила о разработке Litho Booster 1000, своей последней модели станции выравнивания, предназначенной для обеспечения исключительной точности наложения в производстве полупроводников. Litho Booster 1000 обеспечивает плотные измерения образцов на каждой пластине и передает точные данные коррекции непосредственно в систему литографии перед экспонированием, улучшая контроль процесса и обеспечивая более высокий выход продукции. Nikon рассчитывает запустить систему во второй половине 2026 года.
Разработанный для максимальной гибкости, Litho Booster 1000 поддерживает системы полупроводниковой литографии как от Nikon, так и от других поставщиков оборудования для литографии. Компания Nikon поставляет технологию станций выравнивания для удовлетворения требований клиентов к наложению с 2018 года; Новая модель представляет собой значительный шаг вперед в возможностях и производительности.
С быстрым внедрением структур 3D-устройств во многих сегментах рынка полупроводников, таких как датчики изображения CMOS, логические устройства, флэш-память NAND и, вскоре, DRAM, отрасль сталкивается с растущими проблемами наложения, вызванными деформацией и несовпадением пластин во время многослойной обработки и соединения пластин с пластинами. Эти шаги требуют более высокой плотности и более точных измерений пластин для обеспечения жестких допусков на наложение во все более сложных стопках.
Litho Booster 1000 решает эти проблемы благодаря повышенной точности многоточечных и абсолютных измерений, что приводит к повышению качества и производительности устройства, сохраняя при этом высокую производительность на протяжении всего производственного процесса. Разработка системы частично поддерживалась результатами исследований в рамках проекта, заказанного Японской организацией по развитию новой энергетики и промышленных технологий (NEDO).
Делиться
#Nikon #представляет #Litho #Booster #станцию #выравнивания #нового #поколения #предназначенную #для #обеспечения #высочайшей #точности #наложения #для #современных #3Dустройств #Новости
Ещё по этой теме
