Джалали Б. и Фатпур С. Кремниевая фотоника. Дж. Лайтв. Технол. 244600–4615 (2006).
Чен Ю., Лин Х., Ху Дж. и Ли М. Гетерогенно интегрированная кремниевая фотоника для среднего инфракрасного и спектроскопического зондирования. АКС Нано 86955–6961 (2014).
Поултон, резюме и другие. 2014 Когерентный твердотельный лидар с кремниевыми фотонно-оптическими фазированными решетками. Опц. лат. 424091–4094 (2017).
Перес, д. и другие. Многоцелевое кремниевое фотонное ядро сигнального процессора. Нац. Общий. 8636 (2017).
Лойтольд Дж., Коос К. и Фройде В. Нелинейная кремниевая фотоника. Нац. Фотон. 4535–544 (2010).
Кастельо-Лурбе, Д., Торрес-Компани, В. и Сильвестр, Э. Технологии обратной дисперсии в кремниевых волноводах. Дж. опт. соц. Являюсь. Б 311829–1835 (2014).
Тан, ДТХ, Икеда, К., Сан, П.С. и Файнман, Ю. Дисперсия групповой скорости и фазовая самомодуляция в волноводах из нитрида кремния. заявл. физ. лат. 96061101 (2010).
Чавес Боджио, JM и другие. Дисперсионно-инженерные волноводы из нитрида кремния путем оптимизации геометрии и показателя преломления. Дж. опт. соц. Являюсь. Б 312846–2857 (2014).
Рименсбергер, Дж. и другие. Дисперсионная инженерия толстых высокодобротных кольцевых резонаторов из нитрида кремния методом атомно-слоевого осаждения. Опц. Выражать 2027661–27669 (2012).
Киани, К.М. и другие. Четырехволновое смешение в высокодобротных микрокольцевых резонаторах из нитрида кремния, покрытых оксидом теллура. ОСА Континуум 33497–3507 (2020).
Синобад, М. и другие. Обрезка дисперсии для генерации суперконтинуума среднего инфракрасного диапазона в гибридном волноводе из халькогенида/кремния-германия. Дж. опт. соц. Являюсь. Б 36А98–А104 (2019).
Ван, С. и другие. Монолитные фотонные схемы на ниобате лития для генерации и модуляции частотной гребенки Керра. Нац. Общий. 10978 (2019).
Moille, G., Westly, D., Orji, NG & Srinivasan, K. Адаптация широкополосных солитонных микрогребней Керра с помощью настройки геометрической дисперсии после изготовления. заявл. физ. лат. 119121103 (2021).
Sahin, E., Ooi, KJA, Png, CE & Tan, DTH Большая масштабируемая дисперсионная технология с использованием модулированных оболочкой решеток Брэгга на кремниевой микросхеме. заявл. физ. лат. 110161113 (2017).
Knotter, DM & Dentener, TD Механизм травления нитрида кремния в растворах на основе Hf. Дж. Электрохим. Соц 148F43–F46 (2001).
Рей Вилар, М. и другие. Характеристика поверхностей GaAs (100) после влажного травления. Серф. Анальный интерфейс. 37673 (2005).
Ван С.-П., Ли Т.-Х., Чен Ю.-Ю. и Ван, П.-Х. Дисперсионная инженерия микрорезонаторов из нитрида кремния с помощью реконструируемой полимерной оболочки СУ-8. Микромашины 13454 (2022).
Робин С.Дж., Вишной А. и Джонналагадда К.Н. Механическое поведение и анизотропия тонких пленок SU-8 с центрифугированием для МЭМС. Дж. Микроэлектромех. Сист. 23168–180 (2013).
Техническое описание, постоянный эпоксидный негативный фоторезист Microchem SU-8 3000 (2011 г.).
Люк, К., Окавачи, Ю., Ламонт, MRE, Гаэта, А.Л. и Липсон, М. Генерация широкополосной гребенки среднего инфракрасного диапазона в Si3Н4 микрорезонатор. Опц. лат. 404823–4826 (2015).
Джин, В. и другие. Полупроводниковые лазеры с шириной линии герца, использующие микрорезонаторы со сверхвысокой добротностью, готовые к использованию КМОП. Нац. Фотон. 15346–353 (2021).
Фуджи, С. и Такасуми, Т. Проектирование дисперсии и измерение микрорезонатора моды шепчущей галереи для генерации гребенки частот Керра. Нанофотоника 91087–1104 (2020).
Богертс, В. и другие. Нанофотонные волноводы из кремния на изоляторе, изготовленные по технологии CMOS. Дж. Лайтв. Технол. 23401–412 (2005).
Ван П.-Х., Лю Х.-К., Чен Х.-Ю., Чжун Ю.-Х. & Chen, KH КМОП-совместимые кремниевые протравленные U-образные канавки с изготовлением канавок в первую очередь для нанофотонных приложений. IEEE Фотон. Технол. лат. 341230–1233 (2022).
Лиу, Y. и другие. Исследование связи мод в микрорезонаторах из нитрида кремния с нормальной дисперсией для генерации гребенки керровских частот. ОПТИЧЕСКИЙ 1137–144 (2014).
Азиз, С.Б., Абдулла, О.Г., Хуссейн, А.М. и Ахмед, Х.М. От изолирующего полимера ПММА к поведению сопряженных двойных связей: «зеленая» химия как новый подход к производству полимеров с малой шириной запрещенной зоны. полимеры 9626 (2017).
Окавати, Ю. и другие. Формирование полосы пропускания частотных гребенок на основе микрорезонаторов с помощью дисперсионной техники. Опц. лат. 393535–3538 (2014).
Хонг, Ю., Хонг, Ю., Хонг, Дж. и Лу, Г.В. Оптимизация дисперсии волноводов из нитрида кремния для эффективного четырехволнового смешения. Фотоника 5161 (2021).
Ван, П.-Х., Хоу, Н.-Л. и Хо, К.-Л. Дисперсионная инженерия волноводных микрорезонаторов методом атомно-слоевого осаждения. Фотоника 10428 (2023).
2023-08-14 14:18:17
1692023508
#Гибкая #инженерия #дисперсии #использованием #полимерного #рисунка #нанофотонных #волноводах
